用于有源光缆光学系统的无源对准结构及加工工艺

摘要

本发明公开了一种用于有源光缆光学系统的无源对准结构及其加工工艺，该无源对准结构通过晶圆级封装工艺来实现，采用无源对准的方式将光学组合镜整体插入在无源板的定位孔中来固定光学系统，采用对位标记的方式将芯片组件键合在无源板上，整个工艺流程均在无尘室内完成，能够避免光学污染及单个元器件固定时容易错位的弊端，且工艺高效、无源、成本低，产品的良率高。

主权项

一种用于有源光缆光学系统的无源对准结构，其特征在于：包括无源板(1)、芯片组件和用于所述芯片组件光电信号转换的光学组合镜，所述光学组合镜一侧设有若干个定位柱(2)，所述芯片组件包括激光二极管(3)、光电二极管(4)和功能芯片(5)，所述无源板上形成有对应所述激光二极管、所述光电二极管和所述功能芯片的对位标记(6)，所述激光二极管、所述光电二极管和所述功能芯片分别根据对应的对位标记的位置通过键合线连接于所述无源板上，所述无源板上形成有与所述定位柱相对应的定位孔(7)，所述光学组合镜通过所述定位柱和所述定位孔的插接连接于所述无源板上。