发明名称 酸化亜鉛薄膜の製造方法及びデバイス
摘要 酸化亜鉛薄膜の製造方法は、テトラヒドロキシ亜鉛(II)酸イオンを含有するpH10以上の塩基性溶液を用意することと、前記塩基性溶液を基板に塗布することと、前記塩基性溶液を加熱することと、を有する。
申请公布号 JPWO2013031782(A1) 申请公布日期 2015.03.23
申请号 JP20130531334 申请日期 2012.08.28
申请人 株式会社ニコン 发明人 西 康孝;中積 誠;瀧 優介
分类号 C01G9/02;H01B13/00 主分类号 C01G9/02
代理机构 代理人
主权项
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