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发明名称
酸化亜鉛薄膜の製造方法及びデバイス
摘要
酸化亜鉛薄膜の製造方法は、テトラヒドロキシ亜鉛(II)酸イオンを含有するpH10以上の塩基性溶液を用意することと、前記塩基性溶液を基板に塗布することと、前記塩基性溶液を加熱することと、を有する。
申请公布号
JPWO2013031782(A1)
申请公布日期
2015.03.23
申请号
JP20130531334
申请日期
2012.08.28
申请人
株式会社ニコン
发明人
西 康孝;中積 誠;瀧 優介
分类号
C01G9/02;H01B13/00
主分类号
C01G9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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