含有具鎓基之矽的光阻下层膜形成组成物

主权项

一种膜形成组成物，其特征为含有具有鎓基之矽烷化合物与不具有鎓基之矽烷化合物，且该具有鎓基之矽烷化合物系分子内具有鎓基之水解性有机矽烷、其水解物，或其水解缩合物者；该具有鎓基之矽烷化合物系占该全体矽烷化合物中以0.01~0.95莫耳%之比率存在者。