用于掩膜版外观检查的夹具

摘要

本实用新型实施例公开了一种用于掩膜版外观检查的夹具，包括支架、设于支架上的框架及固定组件；所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。本实用新型实施例通过在支架和框架支架设置固定组件，以将框架固定于预定角度，从而再无需人工手持掩膜版，大大降低了劳动强度，具有轻松方便、安全高效的效果；此外，通过在框架上平行设置可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆，从而适用于不同大小的掩膜版，具有适应性强的效果。

主权项

一种用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述夹具包括支架、可旋转地设于支架上的框架及固定组件，掩膜版固定于所述框架上；其中，所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。