用于多靶溅射系统的电源装置

摘要

一种用于同时为多个溅射源供电的装置。电源耦合到电荷累计器。所述电荷累计器经由开关装置耦合到几个溅射源。每一个开关装置的占空比用来单独控制传输到每一个溅射源的功率。在另一个装置中，电源耦合到阻抗匹配电路。所述阻抗匹配电路经由几个平衡元件耦合到几个溅射源。操作每一个平衡元件以单独控制传输到所述溅射源的功率。

主权项

一种用于溅射系统的装置，包括：被依次布置的第一组溅射源；被依次并且与所述第一组交叉地进行布置的第二组溅射源；被与所述第一组成相反的关系进行布置的第三组溅射源；被依次并且与所述第三组交叉地且与所述第二组成相反的关系来进行布置的第四组溅射源；第一、第二、第三和第四电源，所述第一和第三电源提供同相输出，而所述第二和第四电源提供同相输出，所述第二电源提供相对于所述第一电源具有180度相移的输出；第一、第二、第三和第四阻抗匹配电路，分别耦合到所述第一、第二、第三、第四电源；以及，第一、第二、第三和第四组平衡元件，所述第一组平衡元件将所述第一阻抗匹配电路耦合到所述第一组溅射源，所述第二组平衡元件将所述第二阻抗匹配电路耦合到所述第二组溅射源，所述第三组平衡元件将所述第三阻抗匹配电路耦合到所述第三组溅射源，而所述第四组平衡元件将所述第四阻抗匹配电路耦合到所述第四组溅射源。