退火被处理体的制造方法、激光退火基台及激光退火处理装置

摘要

设置有多个支承部(4)，该多个支承部在被处理体的下表面侧的多个部位对所述被处理体进行支承，所述被处理体由激光进行相对扫描并被从上表面侧进行照射，多个支承部(4)构成为以下结构：即，在相对扫描并照射所述线光束激光(150)时，能分别独立地切换所述支承和解除所述支承的动作，随着线光束激光(150)的相对扫描，依次解除相对于包括激光的照射区域(110)的被处理体的局部区域(111)的支承，并且随着照射区域(110)的移动，线光束激光(150)的照射完成，依次重新支承解除了所述支承的局部区域(112)，从而在进行激光退火处理时，能消除设置于被处理体背面侧的衬套梢或吸附槽等的影响而均匀地进行退火处理。

主权项

一种退火被处理体的制造方法，相对于被处理体扫描并照射激光以进行所述被处理体的退火，其特征在于，所述被处理体由多个部位支承，随着所述激光的相对扫描，依次解除对包括所述激光的照射区域的所述被处理体的局部区域的支承，并且随着所述照射区域的移动，所述激光的照射结束，依次重新支承解除了所述支承的的局部区域。