发明名称 |
一种工业CT机X射线管用透射靶及其制备方法 |
摘要 |
一种工业CT机X射线管用透射靶及其制备方法,有钨/铝靶和钨/金刚石靶两种类型。所述的钨-铝靶包括靶面(1)和铝基体(201);所述的钨-金刚石靶包括靶面(1)、金刚石基体(5)和铝支撑架(202);所述的靶面(1)为圆形的钨薄膜;所述的铝基体(201)和金刚石基体(5)均为圆形薄片;所述的钨-金刚石靶的铝支撑架(202)的中心开有一个通孔,所述的金刚石基体(5)放置在铝支撑架(202)的中心通孔内,与铝支撑架(202)焊接在一起;所述的靶面(1)采用磁控溅射方法镀在铝基体(201)表面或金刚石基体(5)表面。 |
申请公布号 |
CN104409304A |
申请公布日期 |
2015.03.11 |
申请号 |
CN201410652918.4 |
申请日期 |
2014.11.17 |
申请人 |
中国科学院电工研究所 |
发明人 |
马玉田;刘俊标;韩立;霍荣岭 |
分类号 |
H01J35/08(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I |
主分类号 |
H01J35/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 |
代理人 |
关玲 |
主权项 |
一种工业CT机X射线管用透射靶,其特征在于:所述的透射靶包括钨‑铝靶和钨‑金刚石靶两种类型;所述的钨‑铝靶包括靶面(1)和铝基体(201);所述的钨‑金刚石靶包括靶面(1)、金刚石基体(5)和铝支撑架(202);所述的靶面(1)为圆形的钨薄膜;所述的铝基体(201)和金刚石基体(5)均为圆形薄片;所述的钨‑金刚石靶的铝支撑架(202)的中心开有一个通孔,所述的金刚石基体(5)放置在铝支撑架(202)的中心通孔内,与铝支撑架(202)焊接在一起;所述的靶面(1)采用磁控溅射方法镀在铝基体(201)表面或金刚石基体(5)表面。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村北二条6号 |