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一种利用雷射微加工系统加工多个工件之方法，包含：自多个工件，至少包含第一及第二工件，之供应以接收一第一工件，其中每一工件具有多个特性，包含不同的第一及第二特性，其中该第一工件之该第一特性具有一第一主要数值且该第一工件之该第二特性具有一第一次要数值，其中该第二工件之该第一特性具有一第二主要数值且该第二工件之该第二特性具有一第二次要数值，其中该第一主要数值系不同于该第二主要数值，且其中该第一次要数值系不同于该第二次要数值；取得关于该第一工件之该第一及第二特性之资讯；指派一第一主要量测数值予该第一工件之该第一特性，该第一主要量测数值系用于建立该第一工件中之一形态的一或多个；指派一第一次要量测数值予该第一工件之该第二特性，该第一次要量测数值系用于建立该第一工件中之该形态；自一对照表选择关于该第一主要及第一次要量测数值之一第一雷射加工参数配置，该第一加工参数配置包含多个参数配置参数，用以加工该第一工件以于该第一工件中建立具有预定属性之该形态，该等预定属性系由形态品质衡量标准所定义，其中该等预定属性之一者系深度；运用包含一光束定位系统及一基板定位系统中之一或
二者之一雷射系统，以于该第一工件中建立具有符合该形态品质衡量标准之该等预定属性之该形态的一或多个；自该多个工件之供应以接收该第二工件；取得关于该第二工件之该第一及第二特性之资讯；指派一第二主要量测数值予该第二工件之该第一特性，该第二主要量测数值系用于建立该第二工件中之该形态；指派一第二次要量测数值予该第二工件之该第二特性，该第二次要量测数值系用于建立该第二工件中之该形态；自该对照表选择关于该第二主要及第二次要量测数值之一第二雷射加工参数配置，该第二加工参数配置包含多个参数配置参数，用以加工该第二工件以于该第二工件中建立具有该等预定属性之该形态，该等预定属性系由形态品质衡量标准所定义，其中该等预定属性之一者系深度，且其中该第二加工参数配置系不同于该第一加工参数配置；且运用包含该光束定位系统及该基板定位系统中之一或二者之该雷射系统，以于该第二工件中建立具有符合该形态品质衡量标准之该等预定属性之该形态的一或多个。
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