| 发明名称 | 使用带电粒子束的半自动粒子分析的方法和数据分析系统 | ||
| 摘要 | 公开了用于根据由带电粒子显微镜生成的对象的微观数据来生成分析数据的数据分析系统。微观数据包括示出结构的图像。通过图形用户界面在显示器上显示结构的图形表示。生成代表分离切割的至少一条路径的分离数据，分离切割将结构的像素相互分离。根据分离数据，通过不同地标记表示的不同区域部分来通过图形用户界面可视化地标记分离切割，表示的不同区域部分代表通过分离切割相互分离的结构的不同的像素。根据微观数据并且根据分离数据，生成针对对象的至少两个部分中的每个部分的分离分析数据。 | ||
| 申请公布号 | CN104346437A | 申请公布日期 | 2015.02.11 |
| 申请号 | CN201410392594.5 | 申请日期 | 2014.08.11 |
| 申请人 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 | 发明人 | C.格西尔;R.莫拉里 |
| 分类号 | G06F17/30(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 邵亚丽 |
| 主权项 | 一种操作数据分析系统(4)的方法，所述数据分析系统(4)用于根据由带电粒子显微镜(2)生成的对象(10)的微观数据来生成分析数据；其中，所述微观数据包括示出结构的图像(60)；其中，所述数据分析系统(4)包括图形用户界面和显示器(43)；其中，所述方法包括：通过所述图形用户界面在所述显示器(43)上显示所述结构的图形表示(73)；生成代表分离切割的至少一条路径的分离数据，所述分离切割将所述结构的像素相互分离；根据所述分离数据，通过不同地标记所述表示(73)的不同区域部分来通过所述图形用户界面可视化地标记所述分离切割，所述表示(73)的不同区域部分代表通过所述分离切割相互分离的所述结构的不同的像素；以及根据所述微观数据并且根据所述分离数据，生成针对所述对象(10)的至少两个部分中的每个部分的分离分析数据。 | ||
| 地址 | 英国剑桥郡 | ||