| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1, 100, 101, 102) zur berührungslosen Lagerung einer Sensor- und/oder Aktoreinrichtung (6) gegenüber einem zumindest bereichsweise schallharten Substrat (2), insbesondere Blech, mit einer beweglichen Aufhängung (4), mit einer mit der Aufhängung (4) mechanisch verbundenen Sensor- und/oder Aktoreinrichtung (6) und mit einer mit der Aufhängung (4) mechanisch verbundenen Positioniereinrichtung (5), die mindestens ein berührungsloses Lager zur berührungslosen Lagerung der Sensor- und/oder Aktoreinrichtung (6) gegenüber dem Substrat (2) aufweist. Um eine genaue Positionierung gegenüber dem Substrat (2) zu gewährleisten, wird vorgeschlagen, dass die Positioniereinrichtung (5) zumindest eine Sonotrode (7) zur Abstrahlung eines Ultraschallfelds aufweist, das zwischen Sonotrode (7) und Substrat (2) akustische Levitationswellen zur berührungslosen Lagerung der Sensor- und/oder Aktoreinrichtung (6) gegenüber dem Substrat (2) über ein als Ultraschalllager (17) ausgeführtes berührungsloses Lager ausbildet. |
