发明名称 APPARATUS FOR DETERMINING THE MASS FLOW OF A VAPOUR TRANSPORTED IN A CARRIER GAS
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bestimmen des Massenflusses eines in einem Trägergas (1) transportierten Dampfs (2) eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffes (3), mit einem ersten Massenflussmesser/-regler (5), der einen ersten Messwert (M1) liefert, der dem Massenfluss eines eingespeisten Trägergases entspricht, mit einer Dampfeinspeisung (7), einem zweiten Massenflussmesser (8), der einen zweiten Messwert (M2) liefert, der dem Massenfluss eines Trägergasdampfgemisches (10) entspricht, sowie mit einer elektronischen Auswerteeinrichtung (11) zur Bildung eines dem Massenfluss des Dampfes entsprechenden Ausgangswertes (A) durch In-Beziehung-setzen des ersten Messwertes (M1) mit dem zweiten Messwert (M2), wobei der zweite Massenflussmesser (8) beheizte Filamente (12, 13, 14) aufweist, die in Strömungsrichtung hintereinander liegen und von einer Steuereinrichtung (16, 17, 18) jeweils mittels eines elektrischen Stroms auf voneinander verschiedene Temperaturen (T1, T2, T3) beheizt werden. Die Steuereinrichtung (16, 17, 18) ist so eingerichtet, dass die Temperatur (T1, T2, T3) jedes Filaments (12, 13, 14) durch Wahl einer in das jeweilige Filament (12, 13, 14) eingespeisten elektrischen Leistung (P1, P2, P3) auf einem vorgegeben Wert gehalten wird und der Ausgangswert (A) aus dem Wert der jeweils in die Filamente (12, 13, 14) eingespeisten Leistungen (P1, P2, P3) ermittelt wird.</p>
申请公布号 WO2015000727(A1) 申请公布日期 2015.01.08
申请号 WO2014EP63096 申请日期 2014.06.23
申请人 AIXTRON SE 发明人 LONG, MICHAEL
分类号 G01F1/74 主分类号 G01F1/74
代理机构 代理人
主权项
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