| 摘要 |
<p>본 발명은 비대칭 라인 나노 패턴 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 블록 공중합체 블렌드를 이용하여 비대칭 라멜라 (lamellar) 마이크로도메인 (microdomain)을 형성시키고, 이를 이용하여 차세대 리소그라피로의 응용이 가능한 비대칭 라인 나노 패턴 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 나노 패턴을 형성하기 위해서, 본 발명은 하나의 블록 공중합체의 적어도 하나의 블록이 다른 블록 공중합체의 적어도 하나의 블록과 2차 결합을 이루는 2 이상의 블록 공중합체 혼합물을 이용하여 비대칭성 라멜라 패턴을 형성하는 방법을 제시한다.</p> |
