光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种光学照明装置、曝光装置及曝光方法。光学照明装置包括：光束变换元件，设置于光源与被照射面之间的光路，包含：利用具有旋光性的结晶光学材料所形成的元件，将自光源入射的照明光的光束的断面形状为相异形状的所定的光强度分布、形成于光学照明装置的瞳面上；以及圆锥旋转三棱镜系统，配置在：利用结晶光学材料所形成的元件的射出侧中的照明光的光路，所述元件是：将射入到所述元件的直线偏光状态的照明光，变换成以轮胎状区域的圆周方向为偏光方向的直线偏光为主成份的偏光状态的照明光，轮胎状区域是在瞳面中、以光学照明装置的光轴为中心。藉由所述元件而变换偏光状态的照明光是：经由圆锥旋转三棱镜系统而照射到被照射面。

主权项

一种光学照明装置，适用在将掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，使用来自光源射出的照明光、而对配置所述掩膜的被照射面进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括：光束变换元件，设置于所述光源与所述被照射面之间的光路，所述光束变换元件包含：利用具有旋光性的结晶光学材料所形成的元件，且所述光束变换元件将入射的所述照明光的光束的断面形状为相异形状的所定的光强度分布、形成于所述光学照明装置的瞳面上；以及圆锥旋转三棱镜系统，配置在：所述利用结晶光学材料所形成的元件的射出侧中的所述照明光的光路，所述利用结晶光学材料所形成的元件是：利用所述结晶光学材料的旋光性使偏光方向旋转，而将射入到所述元件的直线偏光状态的所述照明光，变换成以轮胎状区域的圆周方向为偏光方向的直线偏光为主成份的偏光状态的照明光，所述轮胎状区域是在所述瞳面中、以所述光学照明装置的光轴为中心，且藉由利用所述结晶光学材料所形成的元件而变换偏光状态的所述照明光是：经由所述圆锥旋转三棱镜系统而照射到所述被照射面。