矽晶铸锭制造方法、矽晶铸锭制造装置及矽晶铸锭;FABRICATION METHOD OF SILICON INGOT, FABRICATION APPARATUS OF SILICON INGOT AND SILICON INGOT

摘要

一种矽晶铸锭制造方法、矽晶铸锭制造装置及矽晶铸锭。矽晶铸锭制造方法中系使用整片式矽晶种作为长晶程序的矽晶种。矽晶铸锭制造装置之坩锅容置空间用以放置整片式矽晶种。矽晶铸锭系使用矽晶铸锭制造方法所制造且由坩锅之容置空间定义出矽晶铸锭的外型。所制造的矽晶铸锭晶经切割与加工后可制成整片式矽晶种，并为另一矽晶铸锭制造方法所使用的矽晶种。