发明名称 切削装置
摘要 本发明提供一种即使进行刀片检测也不会使生产性降低的切削装置。该切削装置包含:用以保持被加工物的夹盘、可旋转地支撑用于切削保持在该夹盘上之被加工物之切削刀片的切削设备、用于拍摄保持在该夹盘上之被加工物的拍摄设备,及使该夹盘对被加工物在X轴方向上作相对移动进而使该被夹盘定位于该切削设备与该拍摄设备,并且进行加工移送的X轴移送机构。又,切削装置之特征在于:前述拍摄设备包括:与拍摄区域相对面之接物镜、配设在该接物镜之光轴上的拍摄相机、对该拍摄区域照射闪光灯光之闪光灯光源、及处理该拍摄相机所拍摄之影像的影像处理部。
申请公布号 TWI460050 申请公布日期 2014.11.11
申请号 TW098125193 申请日期 2009.07.27
申请人 迪思科股份有限公司 日本 发明人 根岸克治;山田清
分类号 B23Q17/00;H01L21/304 主分类号 B23Q17/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种切削装置,其包含有:用于保持被加工物的夹盘;可转动地支撑用于切削保持在该夹盘上之被加工物之切削刀片的切削设备;用于拍摄保持在该夹盘上之被加工物的拍摄设备;及使该夹盘对被加工物在X轴方向上作相对移动,进而使该夹盘定位于该切削设备与该拍摄设备,并且进行加工移送的X轴移送机构;又,切削装置之特征在于:前述拍摄设备包括:与拍摄区域相对面之接物镜、配设在该接物镜之光轴上的拍摄相机、对该拍摄区域照射闪光灯光之闪光灯光源、处理该拍摄相机所拍摄之影像的影像处理部、收容该接物镜之框体、及配置在该框体之前端部附近并具有透光窗的间隔壁,且该切削装置更具有用于供水至由该框体、该间隔壁及保持在该夹盘上的被加工物所区隔出之空间内的供水单元。
地址 日本