微机电系统声压感测元件及其制作方法

摘要

本发明提出一种微机电系统(MEMS)声压感测元件及其制作方法，MEMS声压感测元件，包含：基板；固定极板，设置于基板上；以及多层膜结构，包括：多个金属层；以及连接多个金属层的多个金属栓；其中，多层膜结构与固定极板间具有空腔，用以形成音腔，且多个金属层各具有多个金属段，每一金属层的多个金属段与至少另一金属层中的多个金属段以相互交错方式排列，使得当多层膜结构接收声压时，于正交声波前进方向，具有相对无间隙的视平面。

主权项

一种微机电系统声压感测元件，其特征在于，包含： 一基板； 一固定极板，设置于该基板上； 一多层膜结构，包括： 多个金属层；以及 连接该多个金属层的多个金属栓；以及 一支撑结构，形成并固定于该基板上，与该多层膜结构连接，用以支撑该多层膜结构，该支撑结构包括该多个金属层与该多个金属栓； 其中，该多层膜结构与该固定极板间具有一空腔，用以形成一音腔，且该多个金属层各具有多个金属段，每一金属层的多个金属段与至少另一金属层中的多个金属段以相互交错方式排列，使得当该多层膜结构感测声压时，于正交声波前进方向，具有一相对无间隙的视平面。