| 发明名称 | 研磨用组合物及研磨方法 | ||
| 摘要 | 本发明的研磨用组合物含有水溶性聚合物、研磨促进剂及氧化剂。水溶性聚合物为具有150mgKOH/1g·固体以上的胺值的聚酰胺多胺聚合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103154168B | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201180038885.9 | 申请日期 | 2011.08.02 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 玉田修一;平野达彦;梅田刚宏;角田和也;井泽由裕 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;B24B37/04(2012.01)I;H01L21/321(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其为含有水溶性聚合物、研磨促进剂、磨粒、金属防腐剂及氧化剂的研磨用组合物，所述水溶性聚合物为具有150mgKOH/1g·固体以上的胺值的聚酰胺多胺聚合物。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||