用于探针卡的导板;GUIDE PLATE FOR PROBE CARD

摘要

本发明提供一种用于探针卡的导板，其可藉由在多数贯穿孔之边缘部份增加机械强度，应付该等贯穿孔之小型化且减少间距。一用于探针卡的导板包括具有一表面及一贯穿孔之一矽基板，该贯穿孔之一边缘部份，及形成在该边缘部份上之一曲面部份。该贯穿孔系组配成引导一探针且包括一内壁面。该边缘部份系由该矽基板之该表面及该贯穿孔之该内壁面构成。该曲面部份系由一二氧化矽薄膜形成。