基于MEMS的变焦镜头系统

摘要

本申请提供基于微机电(MEMS)的变焦镜头系统，以用于诸如微型电子成像装置之类的微型装置应用中。该基于MEMS的变焦镜头系统包括：至少四个光学元件，或两个阿尔瓦雷斯透镜或罗曼透镜，其被配置为使光信号沿光信号路径通过。每一光学元件都是MEMS驱动的并且可在大体上横向于光信号路径的方向上进行位移。在使用时，该光学组件的横向位移改变该MEMS变焦镜头系统的总焦距，例如用于提供光学变焦功能。另一方面，还提供了一种制造MEMS变焦镜头系统的方法。

主权项

一种变焦镜头系统，包括：至少一个微机电(MEMS)致动器，其被配置为位移一个或多个光学元件；至少四个MEMS驱动的光学元件，所述至少四个MEMS驱动的光学元件中的每个都被配置为使光信号沿光信号传播路径通过，所述至少四个MEMS驱动的光学元件中的每个都包括至少一个自由表面；所述至少四个MEMS驱动的光学元件以成对配置的方式被定位，以使得第一MEMS驱动的光学元件和第二MEMS驱动的光学元件形成第一对光学元件，并且第三MEMS驱动的光学元件和第四MEMS驱动的光学元件形成第二对光学元件，所述至少四个MEMS驱动的光学元件中的每个都能够在大体上横向于所述光信号传播路径的方向上进行位移，以允许所述第一对光学元件和所述第二对光学元件的一者或两者的光焦度发生改变。