发明名称 一种光刻胶及其制作方法、使用方法
摘要 本发明实施例提供了一种光刻胶及其制作方法、使用方法,涉及光刻胶领域,可以降低生产成本,广泛应用于实际生产中。所述制作方法包括:按照质量配比,将1~90份的含羟基或羧基的成膜树脂,1~99份的含硅乙烯基醚化合物,溶解在能够溶解上述物质的有机溶剂中。
申请公布号 CN103941544A 申请公布日期 2014.07.23
申请号 CN201410036953.3 申请日期 2014.01.26
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 汪建国
分类号 G03F7/075(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I 主分类号 G03F7/075(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种光刻胶的制作方法,其特征在于,包括:按照质量配比,将1~90份的含羟基或含羧基的成膜树脂,1~99份的含硅乙烯基醚化合物,溶解在能够溶解上述物质的有机溶剂中。
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