| 主权项 |
一种蒸发装置，包括：一移动板，配置于一框架上，以进行往复移动；复数个蒸发源，用于蒸发一蒸发材料至一基板上，以沉积该蒸发材料于该基板上，该复数个蒸发源系在交叉于该移动板之移动方向的方位上配置于该移动板上；以及一驱动单元，用于使该移动板进行往复移动，该驱动单元包括：一驱动马达；一动力传输单元，用以传输该驱动马达之驱动力至该移动板，使该移动板移动，该动力传输单元包括：一驱动轮，可转动地配置于该框架中，且由该驱动马达进行驱动；一惰轮，可转动地配置于该框架中，该惰轮系在该移动板之移动方向上与该驱动轮隔开；以及一钢带，驱动地连接该驱动轮及该惰轮，其中该移动板固定于该钢带之一端，其中，当该驱动轮及该惰轮转动时，会带动该钢带转动，以使该移动板进行往复移动。 |
