氯化钠基片上制备纳米金刚石的一种方法

摘要

在氯化钠衬底上，在甲烷和氢气气氛下，使用等离子增强化学气相沉积技术，制备出纳米金刚石。反应过程中，甲烷气体和氢气的相应流量比为（10-15）：（75-85）区间，单位为标准状态毫升每分（sccm），温度在750-850℃区间。本发明在烃类气体作为碳源气体，与氢气合理配比，得到了结晶良好的纳米金刚石，无需对基片进行预处理，并且几乎不含其它碳基杂质，提供了一种非常简单的制备纳米金刚石的方法，并提出了新的生长机制。实验成品的透射电子显微镜照片见图1。

主权项

在NaCl基底上，在氢气/甲烷的气氛下制备出纳米金刚石的一种方法，其特征在于，该方法主要包括以下步骤：步骤A：将NaCl（100）单晶片放置于丙酮溶液中，超声清洗3min，用吹风机吹干，放在RF‑PECVD真空室的样品台上，在氢气的气氛下加热至反应温度，进行化学气相沉积；步骤B：在甲烷和氢气的等离子体中，在NaCl的衬底上进行化学气相沉积过程；步骤C：反应结束后，停止通入甲烷，通保护气体氢气，冷却至室温。