成膜装置和附带膜的玻璃膜的制造方法

摘要

本发明提供一种能够适宜在玻璃膜上形成膜的装置。成膜装置（1）具备加热辊（20）和膜形成部（30）。向加热辊（20）的表面上供给玻璃膜（10）。加热辊（20）对玻璃膜（10）进行加热。膜形成部（30）在玻璃膜（10）之上形成膜。加热辊（20）具有筒状体（21）和加热器（22）。筒状体（21）由玻璃或陶瓷构成。筒状体（21）以能够旋转的方式设置。加热器（22）配置在筒状体（21）的内部。加热器（22）对筒状体（21）进行加热。

主权项

一种成膜装置，其特征在于：其具备：其表面上被供给玻璃膜，对所述玻璃膜进行加热的加热辊；和，在所述玻璃膜之上形成膜的膜形成部，所述加热辊，具有：由玻璃或陶瓷构成的、能够旋转地设置的筒状体；和，在所述筒状体的内部配置的、对所述筒状体进行加热的加热器。