光刻胶与显影液的恒温控制系统

摘要

本发明涉及IC及LED行业，具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。包括恒温水控制装置、双层套管组件及喷嘴，其中双层套管组件设有两个双层管路，每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴，另一端均为药液入口，每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通，两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II和恒温水出口II，所述恒温水控制装置的恒温水入口I和恒温水出口I通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II和恒温水入口II连接，形成恒温水回路，内层管路浸泡在恒温水中，通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。本发明安装简单，控温精度高，反应灵敏，在IC和LED行业可广泛使用。

主权项

一种光刻胶与显影液的恒温控制系统，其特征在于：包括恒温水控制装置(10)、双层套管组件及喷嘴(13)，其中双层套管组件设有两个双层管路，每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴(13)，另一端均为药液入口，每个双层管路的外层管路与喷嘴(13)同侧的一端相互连通，两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口II(14)和恒温水出口II(21)，所述恒温水控制装置(10)的恒温水入口I(8)和恒温水出口I(9)通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口II(21)和恒温水入口II(14)连接，形成恒温水回路，内层管路浸泡在恒温水中，通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。