发明名称 Verfahren zur Bestimmung der Konzentration der in Halbleiterkoerper eindiffundierten dotierenden Fremdstoffe und zur Bestimmung der Oberflaechenkonzentration
摘要
申请公布号 DE1189204(B) 申请公布日期 1965.03.18
申请号 DE1960S067141 申请日期 1960.02.17
申请人 SUEDDEUTSCHE TELEFON-APPARATE, KABEL- UND DRAHTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT TE KA DE 发明人 NIEDERMEYER DIPL.-ING. ALBERT
分类号 G01R31/26;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/66;H01L29/36 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址