发明名称 对准目标之绕射元件
摘要
申请公布号 TWI434151 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW098112347 申请日期 2009.04.14
申请人 ASML控股公司 荷兰 发明人 瓦拉狄米斯基 由利;亚力夫 穆哈曼德;萨瑞德森 罗伯特 艾伯特
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 荷兰