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经营范围
发明名称
对准目标之绕射元件
摘要
申请公布号
TWI434151
申请公布日期
2014.04.11
申请号
TW098112347
申请日期
2009.04.14
申请人
ASML控股公司 荷兰
发明人
瓦拉狄米斯基 由利;亚力夫 穆哈曼德;萨瑞德森 罗伯特 艾伯特
分类号
G03F9/00
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址
荷兰
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