发明名称 半导体结构之形成方法
摘要
申请公布号 TWI431666 申请公布日期 2014.03.21
申请号 TW099108127 申请日期 2010.03.19
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 费兰札 詹姆斯;罗特费尔德 安东尼;白杰;朴志洙;海克 珍妮佛;李志忠;陈志源
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号