反射IR的层系统的保护层，反射IR的层系统和其制造方法

摘要

发明涉及一种反射IR的层系统的保护层，反射IR的层系统和其制造方法，尤其是一种用于布置在基底上的反射IR的层系统的保护层、使用这种保护层的反射IR的层系统和其制造方法，该保护层向上封闭反射IR的层系统，该层系统从基底向上包括至少具有基层的基层布置、至少具有功能层的功能层布置和具有至少一个抗反射覆盖层的覆盖层布置。为了改善各种公知的层系统的机械耐久性，在保持可以用该层系统达到的辐射率和透射率的情况下，在该层系统上沉积有一种由借助反应性阴极溅射而沉积的氮氧化钛作为主要组成部分构成的保护层，该保护层在几纳米的层厚范围内具有非晶态的结构。

主权项

一种反射IR的层系统的保护层，所述反射IR的层系统布置在基底上，所述保护层向上封闭所述反射IR的层系统，其特征在于，所述保护层由氮氧化钛作为主要成分构成并且所述保护层具有在几纳米范围内的层厚以及具有非晶态的结构。