一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法

摘要

发明涉及一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法，包括以下步骤：先将磨料固化到研磨垫中，得到固定磨料研磨垫，作为研磨介质；再将碳化硅衬底置于固定磨料研磨垫上方，利用研磨设备使固定磨料研磨垫旋转，并加入冷却润滑剂，进行碳化硅衬底表面的加工，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。通过本发明的技术创新，可以大大简化碳化硅衬底加工工艺步骤，降低研发及生产设备投入，提高加工效率，节约磨料、保护人员和环境，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。

主权项

一种获得低加工损伤的碳化硅衬底表面的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将磨料固化到研磨垫中，得到固定磨料研磨垫，作为研磨介质；（2）将碳化硅衬底置于固定磨料研磨垫上方，利用研磨设备使固定磨料研磨垫旋转，并加入冷却润滑剂，进行碳化硅衬底表面的加工，得到低加工损伤的碳化硅衬底表面。