一种聚电解质二氧化钛复合型湿敏元件及其制备方法

摘要

本发明涉及湿度测量领域中湿度传感器及其湿敏元件的制备方法，具体地说是涉及一种聚电解质二氧化钛复合型湿敏元件及其制备方法。其基板上带有叉指电极，在基板上设有通过二维有序多孔TiO2薄膜和聚电解质复合而成的复合湿敏材料，且二维有序多孔TiO2薄膜是通过模板法沉积在基板上带叉指电极的一侧。本发明的聚电解质二氧化钛复合型湿敏元件，具有良好的湿敏响应性能，其湿度测量范围在11～95%RH之间，测量范围广，响应线性好，灵敏度高，湿滞小（<2%RH），吸附的响应时间1～2s，脱附的响应时间小于20s，重复稳定性较好。相对于单一聚电解质湿敏元件，很好的改善了湿滞大和长期稳定性差等缺陷，可广泛应用于湿度的精确测量，尤其适用于中低湿环境湿度的测量。

主权项

一种聚电解质二氧化钛复合型湿敏元件，包括有基板，其特征在于：所述基板上带有叉指电极，在所述基板上设有复合湿敏材料，所述复合湿敏材料由二维有序多孔TiO2薄膜和聚电解质复合而成，且所述二维有序多孔TiO2薄膜是通过模板法沉积在基板上带叉指电极的一侧。