发明名称 探针卡
摘要 本发明关于一种探针卡,系用以检查被检查体的电性特性,其具有:复数个接触组件,系于检查时接触被检查体;复数个测试晶片,系与被检查体之间传送或接收检查用电子讯号,以检查该被检查体的电性特性;导电部,系将接触组件与对应于该接触组件之该测试晶片加以电连接,并于下方面配置有复数个接触组件;及推压部,系于检查时将导电部推压至被检查体侧,而于接触组件与被检查体之间赋予推压力。
申请公布号 TWI425229 申请公布日期 2014.02.01
申请号 TW099133182 申请日期 2010.09.30
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本 发明人 小松茂和;片冈宪一
分类号 G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人 林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址 日本