发明名称 |
探针卡 |
摘要 |
本发明关于一种探针卡,系用以检查被检查体的电性特性,其具有:复数个接触组件,系于检查时接触被检查体;复数个测试晶片,系与被检查体之间传送或接收检查用电子讯号,以检查该被检查体的电性特性;导电部,系将接触组件与对应于该接触组件之该测试晶片加以电连接,并于下方面配置有复数个接触组件;及推压部,系于检查时将导电部推压至被检查体侧,而于接触组件与被检查体之间赋予推压力。 |
申请公布号 |
TWI425229 |
申请公布日期 |
2014.02.01 |
申请号 |
TW099133182 |
申请日期 |
2010.09.30 |
申请人 |
东京威力科创股份有限公司 日本 |
发明人 |
小松茂和;片冈宪一 |
分类号 |
G01R31/28;G01R1/073;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
林秋琴 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |