| 发明名称 |
一种内表面具有凹槽拉晶用石英玻璃坩埚的制备方法 |
| 摘要 |
本发明公开一种拉制单晶硅用石英玻璃坩埚及其制备方法，其特征在于：石英玻璃坩埚内表面特定区域有凹槽。设坩埚总高度为H，凹槽位于从石英玻璃坩埚底部开始0.2H-0.99H范围的相应位置。本发明石英玻璃坩埚在拉制硅单晶时能够稳定抑制硅溶液的表面振动，并具有长寿命的特点。 |
| 申请公布号 |
CN103526280A |
申请公布日期 |
2014.01.22 |
| 申请号 |
CN201310474340.3 |
申请日期 |
2013.10.12 |
| 申请人 |
南通路博石英材料有限公司 |
发明人 |
司继成;朱强;向真雄;沈凯峰;凌建平 |
| 分类号 |
C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B15/10(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用于拉制单晶硅的石英玻璃坩埚，其特征在于：坩埚内表面特定区域内具有凹槽结构。 |
| 地址 |
226111 江苏省南通市海门工业园区南通路博石英材料有限公司 |
