复合坩埚及其制造方法以及矽晶体的制造方法

摘要

本发明提供耐热强度高适用于长时间的拉晶，且能以低成本制造的坩埚及其制造方法。复合坩埚10具有以氧化铝和氧化矽作为主成分的莫来石所构成的坩埚本体11以及形成于坩埚本体11的内表面侧的透明氧化矽玻璃层12，坩埚的基本材料系使用莫来石(3Al2O32SiO2)，透明氧化矽玻璃层12的厚度比坩埚本体11的厚度薄。坩埚本体11能利用粉浆浇铸法形成，透明氧化矽玻璃层12能利用熔喷法形成。