用于促进硅电极抛光的盘和适配器组件

摘要

提供了一种用抛光转盘和双功能电极盘抛光硅电极的方法。所述双功能电极盘固定于所述抛光转盘且包括多个设置为伸出于所述双功能电极盘的电极接合面的电极固定件。所述电极固定件与成形于待抛光的所述硅电极的盘接合面的固定件插座的各位置互补。所述电极固定件和所述固定件插座配置为允许所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的所述盘接合面的无破损地接合和解离。所述双功能电极盘进一步包括位于所述电极固定件径向向内的盘适配器拱座。所述盘适配器拱座配置为使盘适配器与所述旋转抛光轴近似对准。所述硅电极通过以下方式抛光(i)经由所述电极固定件和所述固定件插座接合所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的所述盘接合面，(ii)利用所述抛光转盘施加旋转运动于已接合的所述硅电极，和(iii)当所述硅电极关于所述旋转抛光轴旋转时将所述硅电极的暴露表面与抛光表面接触。也考虑、公开和要求保护附加的具体实施方式。

主权项

一种用抛光转盘和双功能电极盘抛光硅电极的方法，其中：所述抛光转盘配置为关于旋转抛光轴旋转；所述双功能电极盘包括盘心且固定于所述抛光转盘以使所述盘心与所述旋转抛光轴近似对准；所述双功能电极盘进一步包括多个轴向屈从电极固定件，所述轴向屈从电极固定件设置为伸出于所述双功能电极盘的电极接合面且与成形于所述硅电极的盘接合面的轴向屈从固定件插座的各位置互补；所述轴向屈从电极固定件和所述轴向屈从固定件插座配置为允许所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的盘接合面在平行于所述旋转抛光轴的单一方向上无破损地接合和解离；所述双功能电极盘进一步包括位于所述轴向屈从电极固定件径向向内的盘适配器拱座；所述盘适配器拱座配置为使盘适配器的盘适配器中心与所述旋转抛光轴近似对准；且所述硅电极通过以下方式抛光：经由电极固定件和固定件插座接合所述电极盘的所述电极接合面和所述硅电极的所述盘接合面，利用所述抛光转盘对已接合的所述硅电极施加旋转运动，且当所述硅电极关于所述旋转抛光轴旋转时，将所述硅电极的暴露表面与抛光表面接触。