发明名称 一种硅片脱胶槽
摘要 本实用新型提供了一种硅片脱胶槽,属于太阳能电池技术领域。它解决了现有的硅片脱胶槽在完成脱胶后残留在硅片上的脱胶液容易污染环境的问题。本硅片脱胶槽包括支架和设置于支架上呈方形的本体,本体内设有隔板,所述隔板将本体分为工作槽和存储槽。本硅片脱胶槽由工作槽和存储槽组成,在完成脱胶工作后,可直接将硅片放置于载片盒内,载片盒放置于支承板上对残留的脱胶液进行收集,一方面提高硅片纯净度,另一方面可收集残留脱胶液,同时还可防止污染。
申请公布号 CN203325848U 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN201320275700.2 申请日期 2013.05.20
申请人 嘉兴博科精密机械有限公司 发明人 黄雄华
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种硅片脱胶槽,包括支架和设置于支架上呈方形的本体,其特征在于,所述的本体内设有隔板,所述隔板将本体分为工作槽和存储槽。
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