发明名称 一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器
摘要 本发明公开了一种外腔激光器,其包括一个平面光波导芯片,该芯片包括一个管芯和一个波导,波导具有一个芯层,该芯层呈脊形,在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。所述管芯包括有源区、前腔面和后腔面,所述后腔面用于反射所述有源区激发的光波,所述前腔面用于传输该光波到所述波导中,所述波导的芯层耦合到该管芯的前腔面。本发明的侧向耦合平面波导光栅外腔激光器,采用无源多级侧向耦合平面波导光栅作为激光器外腔,可以简化工艺难度,降低成本。
申请公布号 CN103346477A 申请公布日期 2013.10.09
申请号 CN201310268233.5 申请日期 2013.06.28
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 孙宁宁;谭满清
分类号 H01S5/14(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I 主分类号 H01S5/14(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种外腔激光器,包括一个平面光波导芯片,该芯片包括一个管芯和一个波导,其特征在于:所述波导具有一个芯层,该芯层呈脊形,在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。
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