发明名称 |
一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器 |
摘要 |
本发明公开了一种外腔激光器,其包括一个平面光波导芯片,该芯片包括一个管芯和一个波导,波导具有一个芯层,该芯层呈脊形,在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。所述管芯包括有源区、前腔面和后腔面,所述后腔面用于反射所述有源区激发的光波,所述前腔面用于传输该光波到所述波导中,所述波导的芯层耦合到该管芯的前腔面。本发明的侧向耦合平面波导光栅外腔激光器,采用无源多级侧向耦合平面波导光栅作为激光器外腔,可以简化工艺难度,降低成本。 |
申请公布号 |
CN103346477A |
申请公布日期 |
2013.10.09 |
申请号 |
CN201310268233.5 |
申请日期 |
2013.06.28 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
孙宁宁;谭满清 |
分类号 |
H01S5/14(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I |
主分类号 |
H01S5/14(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种外腔激光器,包括一个平面光波导芯片,该芯片包括一个管芯和一个波导,其特征在于:所述波导具有一个芯层,该芯层呈脊形,在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |