发明名称 微通道板噪声因子测试方法
摘要 本发明公开了一种微通道板(MCP)噪声因子测试方法,它包括噪声因子的测试条件和具体测试方法。本发明将MCP、荧光屏和电子枪封闭在一高真空室内;均匀面电子束入射MCP,在MCP两端施加高压使其正常工作;检测MCP的输入电流、输出电流特性;通过MCP的输入电流的测试和数据处理,可以计算出MCP的输入信噪比;同时测试出MCP的输出电流数据,通过数据处理可以计算MCP的输出信噪比,最终计算出噪声因子参数。该测试方法可以科学地评价MCP的噪声特性,为高性能微光器件的研制,提供理论指导和技术支撑。在MCP和微光像增强器的研制和生产中可以广泛应用。
申请公布号 CN102175933B 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201110031977.6 申请日期 2011.01.28
申请人 南京理工大学 发明人 钱芸生;刘磊;常本康;邱亚峰;富容国;张俊举;高频;詹启海;朱亚明
分类号 G01R29/26(2006.01)I;H01J43/24(2006.01)I 主分类号 G01R29/26(2006.01)I
代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国
主权项 一种微通道板噪声因子测试方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、将MCP、荧光屏和电子枪封闭在一个高真空室内,其中MCP位于荧光屏和电子枪之间,之后对真空室抽真空;步骤2、电子枪产生电子束均匀入射MCP,其中所述电子束电流密度为:1×10‑11A/cm2~3×10‑10A/cm2;步骤3、在电子枪和MCP的输入端、MCP输入端和输出端、MCP输出端和荧光屏间加工作电压;步骤4、检测MCP的输入电流,该输入电流包括有电子束入射的信号值和无电子束入射的暗电流信号值,之后利用公式 <mrow> <msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>S</mi> <mo>/</mo> <mi>N</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>in</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>S</mi> <mi>in</mi> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>S</mi> <mrow> <mi>in</mi> <mn>0</mn> </mrow> </msub> </mrow> <msqrt> <msup> <msub> <mi>N</mi> <mi>in</mi> </msub> <mn>2</mn> </msup> <mo>-</mo> <msup> <msub> <mi>N</mi> <mrow> <mi>in</mi> <mn>0</mn> </mrow> </msub> <mn>2</mn> </msup> </msqrt> </mfrac> </mrow>得到MCP的输入信噪比(S/N)in,式中Sin为有电子束入射的平均信号值,Sin0为无电子束入射的暗电流平均信号值,Nin为有电子束入射时偏离平均值的均方根噪声值,Nin0为无电子束入射时偏离平均值的均方根噪声值,上述Sin、Sin0、Nin和Nin0的单位均为pA;步骤5、检测MCP的输出电流,该输出电流包括有电子束入射的信号值和无电子束入射的信号值,之后利用公式: <mrow> <msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>S</mi> <mo>/</mo> <mi>N</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>out</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>S</mi> <mi>out</mi> </msub> <mo>-</mo> <msub> <mi>S</mi> <mrow> <mi>out</mi> <mn>0</mn> </mrow> </msub> </mrow> <msqrt> <msup> <msub> <mi>N</mi> <mi>out</mi> </msub> <mn>2</mn> </msup> <mo>-</mo> <msup> <msub> <mi>N</mi> <mrow> <mi>out</mi> <mn>0</mn> </mrow> </msub> <mn>2</mn> </msup> </msqrt> </mfrac> </mrow>得到MCP的输出信噪比(S/N)out,式中Sout为有电子束入射时的MCP输出电流平均值,Sout0为无电子束入射的MCP输出电流平均值,Nout为有电子束入射时偏离平均值的均方根噪声值,Nout0为无电子束入射时偏离平均值的均方根噪声值,上述Sout、Sout0、Nout、Nout0的单位均为nA;步骤6、计算MCP的噪声因子NF,所用公式为: <mrow> <msub> <mi>N</mi> <mi>F</mi> </msub> <mo>=</mo> <mfrac> <msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>S</mi> <mo>/</mo> <mi>N</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>in</mi> </msub> <msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>S</mi> <mo>/</mo> <mi>N</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>out</mi> </msub> </mfrac> <mo>.</mo> </mrow>
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