柔性基底薄膜表面微结构的形成方法

摘要

本发明提出一种柔性基底薄膜表面微结构的形成方法，包括：绘制曲线图形并制备光刻掩膜；利用光刻掩膜，光刻石英玻璃；在图形化的石英玻璃上浇铸柔性基底预聚体，然后固化得到图形化的柔性基底并剥离；以及在图形化的柔性基底上镀金属膜。本发明在柔性基底材料表面形成曲线结构，再在基底上镀膜，由于温度变化产生热应力，曲线结构引导薄膜内的应力分布，可以通过设计不同曲率、间距和形状的曲线结构，控制褶皱屈曲发生的区域和幅度，该方法操作简单，易于实现。

主权项

一种柔性基底薄膜表面微结构的形成方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：绘制曲线图形并制备光刻掩膜；S2：利用所述光刻掩膜，光刻石英玻璃；S3：在图形化的石英玻璃上浇铸柔性基底预聚体，然后固化得到图形化的柔性基底并剥离；以及S4：在图形化的柔性基底上镀金属膜。