发明名称 Messeinrichtung und Verfahren zur Vermessung optischer Weglängenänderungen
摘要 Messeinrichtung (1) zur Vermessung sich verändernder optischer Weglängen umfassend eine Lichtleitfaser (5) mit einem ersten Ende (4) und einem zweiten Ende (6), ein optisches Führungselement (18), eine photoempfindliche Detektoreinrichtung (19) und eine Auswerteeinrichtung (25), wobei in die Messeinrichtung (1) kohärente Strahlung (3) einkoppelbar ist, so dass diese in das erste Ende (4) der Lichtleitfaser (5) einkoppelt, und wobei das zweite Ende (6) beabstandet zu einem Reflektor (10) anordenbar ist, so dass zumindest ein Teil (13) der aus dem zweiten Ende (6) austretenden Strahlung (7), welches an dem Reflektor (10) reflektiert ist, wieder in das zweite Ende (6) der Lichtleitfaser (5) eingekoppelt wird, und das optische Führungselement (18) relativ zu der photoempfindlichen Detektoreinrichtung (19) so angeordnet ist, dass der an dem Reflektor (10) reflektierte, und in die Lichtleitfaser an dem zweiten Ende (6) eingekoppelte Anteil (13) und ein an einer Austrittsfläche (14) des zweiten Endes (6) der Lichtleitfaser (5) in diese zurückreflektierter Anteil (15) der Strahlung, die gemeinsam aus dem ersten Ende (4) der Lichtleitfaser (5) austreten, auf die photoempfindliche Detektoreinrichtung (19) geführt werden, so dass diese sich dort überlagern, dadurch gekennzeichnet, dass eine Strahlführung so ausgeführt ist, dass sich in oder auf der photoempfindlichen Detektoreinrichtung (19) ein räumliches Interferenzmuster (40) ausbildet und die photoempfindliche Detektoreinrichtung (19) mindestens ein erstes Messelement (20-1) zum Erfassen eines ersten Intensitätssignals (51) und ein zweites Messelement (20-2) zum Erfassen eines zweiten Intensitätssignals (52) umfasst, die von der überlagerten Strahlung beleuchtet sind, und die Auswerteeinrichtung (25) ausgebildet ist, aus den zeitgleich gemessenen Intensitätssignalen (51, 52) ein Signalφabzuleiten, das ein Maß für die optische Weglänge zwischen der Austrittsfläche (14) an dem zweiten Ende (6) der Lichtleitfaser (5) und dem Reflektor (10) repräsentiert.
申请公布号 DE102010022641(B4) 申请公布日期 2013.07.04
申请号 DE20101022641 申请日期 2010.06.04
申请人 DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. 发明人 ROEHLE, INGO, DR.;BAKE, FRIEDRICH, DR.;KONLE, HOLGER
分类号 G01B9/02;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
地址