扫描透射电子显微镜中提高原子序数衬度像质量的方法

摘要

本发明提供了一种扫描透射电子显微镜中提高原子序数衬度像质量的方法，包括如下步骤：在扫描透射模式下旋转样品得到样品的会聚束衍射图；将多通道高角环形暗场探测器放入光路中，改变衍射图的大小，使衍射斑点从环形探测器的中心圆孔中穿过；扫描样品并采集高角环形暗场探测器各通道信号；舍弃包含菊池线信号的通道，并即采用其余通道的信号；对比扫描各点中可用通道的数量，对通道数量较少的点按比例进行信号增强，得到最终的原子序数衬度像。本发明的优点在于，将采集的信号进行过滤，保留与样品原子序数相关的卢瑟福散射电子的信号，排除各种衍射电子信号，从而提高原子序数衬度像的质量。

主权项

一种扫描透射电子显微镜中提高原子序数衬度像质量的方法，其特征在于，包括如下步骤：在扫描透射模式下旋转样品得到样品的会聚束衍射图；将多通道高角环形暗场探测器放入光路中，改变衍射图的大小，使衍射斑点从环形探测器的中心圆孔中穿过；扫描样品并采集高角环形暗场探测器各通道信号；舍弃包含菊池线信号的通道，并即采用其余通道的信号；对比扫描各点中可用通道的数量，对通道数量较少的点按比例进行信号增强，得到最终的原子序数衬度像。