一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置

摘要

本实用新型公开了一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，主要由离子聚焦透镜，skimmer电极和离子传导透镜组成。离子聚焦透镜对电离区的离子进行收集并聚焦通过skimmer电极。在传导透镜的作用下，经过skimmer的离子被调节后传输到真空室。skimmer电极的小孔不仅对进入电离区的离子进行了筛选，同时使电离区筒上端和下端的气压相差1~3个数量级，提高了仪器的灵敏度。

主权项

一种基于VUV灯电离源的静电透镜装置，其特征在于：包括二端开口的中空筒状的电离区筒（1），于电离区筒（1）内沿轴向依次设置有离子聚焦透镜（4）、skimmer电极（5）、离子传导透镜（6）和整形电极（11）；于电离区筒（1）的中部径向设有中部带有通孔的隔板，隔板将电离区筒（1）分成上、下二个腔室，skimmer电极（5）放置于隔板上，skimmer电极（5）与隔板上的通孔同轴；于电离区筒（1）的上开口端设有一盖板(2)，盖板(2)的中部设置有电离源的紫外光入射孔或入射窗；于靠近上开口端的电离区筒（1）的侧壁上设置有进气口（12）；于电离区筒（1）的下开口端设有一真空室（9），真空室（9）与电离区筒（1）相连接处设有通孔，真空室（9）通过通孔与电离区筒（1）的下开口端相连通；整形电极（11）覆盖于真空室（9）的通孔上方；真空室（9）与外界的真空泵相连。