氧化锌系靶材

摘要

本发明提供一种耐环境性优良之氧化锌系靶材。;本发明之氧化锌系靶材，系以氧化锌做为主成分，并且含有钛(Ti)及镓(Ga)两元素，且在钛1.1at%以上或镓4.5at%以上之范围含有上述两元素。