晶圆检查装置

摘要

本实用新型提供了一种晶圆检查装置，用于在快速热退火系统的运输过程中对晶圆进行检查，包括激光源和设于装载盘表面的传感器，所述激光源正对着所述装载盘所在平面，所述传感器与控制机台连接，进行数据传输。本实用新型通过激光源和传感器的匹配连接，采集激光信号被晶圆所遮挡的长度，机台将所检测到的遮挡的长度与晶圆运输的时间建立函数曲线，通过观察函数曲线，得出缺损部分。提供了一种能够在不影响生产效率和产量的情况下，检查晶圆的缺损情况的晶圆检查装置。

主权项

一种晶圆检查装置，用于在快速热退火系统的运输过程中对晶圆进行检查，其特征在于：包括激光源和设于装载盘表面的传感器，所述激光源正对着所述装载盘所在平面，所述传感器与控制机台连接，进行数据传输。