发明名称 一种电泳附着磨料切割装置
摘要 本创作系提供一种电泳附着磨料切割装置,系利用电泳沉积方式吸附浆料内带电荷之磨料粒子,供应用于磨料切割制程,其包含有:一电源供应装置,系供应所需之电源,透过产生之电场,将该磨料粒子解离形成带电荷之电泳;一阴极装置,系电性连接该电源供应装置,供乘载该浆料,并透过该电源供应装置提供之负电性,吸引该电泳中带正电荷之该磨料粒子;一阳极装置,系电性连接该电源供应装置,透过该电源供应装置提供之正电性,吸引该电泳中带负电荷之该磨料粒子;一切割本体,系与该阳极装置连接并与该阴极装置保持一距离(1mm~20mm),吸附该等磨料粒子以进行切割制程;以及一目标工作件,系与该切割本体相接触,利用该切割本体对其进行切割制程。
申请公布号 TWM451658 申请公布日期 2013.04.21
申请号 TW101220575 申请日期 2012.10.25
申请人 国立台湾科技大学 台北市大安区基隆路4段43号 发明人 黄尧弘;陈炤彰
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 刘光德 台北市大安区敦化南路2段164号6楼之3
主权项
地址 台北市大安区基隆路4段43号