发明名称 |
水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件 |
摘要 |
本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法,其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,将该熔融材料通过火焰喷镀法对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固,由此制造在Al晶粒中In均匀地分散而成的水反应性Al膜。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。 |
申请公布号 |
CN102016100B |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN200980115409.5 |
申请日期 |
2009.04.27 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 |
分类号 |
C23C4/06(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
贾成功 |
主权项 |
一种水反应性A1膜的制造方法,其特征在于,形成将经过来自上限温度为300‑350℃的成膜工艺的热履历后的A1膜浸渍于40‑130℃的温水中而溶解了时的溶解电流密度为50mA/cm2以上的A1膜,所述A1膜为将在4NA1或5NA1中以A1基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,将该熔融材料通过火焰喷镀法对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固,由此在A1晶粒中In均匀地分散而成的A1膜。 |
地址 |
日本神奈川 |