| 发明名称 | 舟形构件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种舟形构件，在批式热处理装置中，在搭载并支持了基板的舟形构件上形成支持基板的长边侧的第一及第二支持道，防止在热处理进行过程中基板因自身载荷而变形。本发明所涉及的舟形构件是在批式热处理装置中、在提供用于执行热处理工序的空间的室内、用于搭载多个基板的结构，包括：下部框架；上部框架；以及多个垂直框架，与上述下部框架及上述上部框架连接，形成有在上述基板的内侧方向上延伸的多个第一支持道；还包括：第二支持道，与上述各垂直框架的第一支持道相互连接。 | ||
| 申请公布号 | CN101514443B | 申请公布日期 | 2013.04.03 |
| 申请号 | CN200910008307.5 | 申请日期 | 2009.02.20 |
| 申请人 | 泰拉半导体株式会社 | 发明人 | 李炳一;赵庸根 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 一种舟形构件，配置在室内，并搭载了多个基板，上述室提供用于由批式热处理装置执行热处理工序的空间，上述舟形构件的特征在于，包括：下部框架；上部框架；以及多个垂直框架，与上述下部框架及上述上部框架连接，还形成有：在上述搭载的基板的内侧方向上延伸的多个第一支持道；第二支持道，与上述各垂直框架的第一支持道相互连接，其中，上述第一支持道和上述第二支持道支持上述基板的长边侧，上述第二支持道之间的水平距离是可变更的。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||