工件的精密粘合装置以及工件的精密粘合方法

摘要

本发明提供一种能够将工件彼此以精密地定位了的状态粘合，而且，即使在工件在粘合途中蜿蜒的情况下，也能够将工件彼此精密地粘合的精密粘合装置。本发明中，具备下吸盘（7）和上吸盘（8）。在各工件（W1·W2）设置位置精度高的定位显示（5R·P1）。在下吸盘（7）设置吸附第一工件（W1）的工件支撑台（10）、终端支撑台（18）、粘合辊（11）、第一校准装置（12）。在上吸盘（8）设置吸附第二工件（W2）的吸附台（44）、第二校准装置（45）。由CCD照相机（C6·C7）获取定位显示（5R·P1）的图像，检测错位，由第二校准装置（45）调整吸附台（44）的位置，将两工件（W1·W2）精密地定位。在粘合时，由错位监视照相机（C8）监视第一工件（W1）的错位，一面与错位相应地由第一校准装置（12）矫正终端支撑台（18）的姿势，一面将两工件（W1·W2）粘合。

主权项

一种工件的精密粘合装置，其特征在于，具备在粘合位置支撑第一工件（W1）的下吸盘（7）、支撑成为粘合对象的第二工件（W2），并将第二工件（W2）向粘合前阶段位置（Z1）、粘合位置（Z2）、运出位置（Z3）移送的上吸盘（8），在第一工件（W1）以及第二工件（W2）分别设置位置精度高的定位显示（5R·5L·P1·P2），在下吸盘（7）设置吸附第一工件（W1）的多个工件支撑台（10）以及终端支撑台（18）、将第一工件（W1）和第二工件（W2）粘合的粘合辊（11）、调整终端支撑台（18）的前后位置的第一校准装置（12），在上吸盘（8）设置吸附固定第二工件（W2）的吸附台（44）、调整吸附台（44）的前后位置以及左右位置的第二校准装置（45），在粘合位置（Z2）上，由CCD照相机（C6·C7）根据两工件（W1·W2）的定位显示（5R·5L·P1·P2）检测错位，根据检测结果，由第二校准装置（45）调整吸附台（44）的位置，两工件（W1·W2）被定位，在由粘合辊（11）将第一工件（W1）和第二工件（W2）粘合的状态下，由错位监视照相机（C8）监视第一工件（W1）的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置（12）矫正终端支撑台（18）的前后位置，同时，由第二校准装置（45）矫正滑动台（48）的左右位置，一面粘合第一工件（W1）和第二工件（W2）。