氮化镓单晶的制备方法

摘要

本发明实施例公开了一种氮化镓单晶的制备方法，在异质衬底上形成氮化镓厚膜之前，通过具有多个暴露异质衬底的岛状部分的钝化层，在其岛状部分上生长出氮化镓的晶柱，从而形成柱状网络的应力屈服层，在此应力屈服层上继续生长氮化镓厚膜。由于柱状网络的应力屈服层具有相对弱的机械强度，生长在异质衬底上的氮化镓结构在冷却过程中，在热应力的作用下，会在应力屈服层裂开，从而使氮化镓厚膜从异质衬底上剥离。通过冷却过程的热应力，而无需其他工艺手段就能实现氮化镓厚膜的剥离，制造成本低，易于实现。

主权项

一种氮化镓单晶的制备方法，其特征在于，包括：提供异质衬底；对所述异质衬底进行氮化；在所述异质衬底上形成钝化层，所述钝化层具有多个暴露异质衬底的岛状部分；在所述岛状部分上生长氮化镓晶柱，所述氮化镓晶柱底部与所述异质衬底表面直接接触，所述氮化镓晶柱高于所述钝化层，以形成柱状网络的应力屈服层；在所述氮化镓晶柱的上部形成氮化镓薄膜，以使氮化镓晶柱的上部合并；在所述氮化镓薄膜上生长氮化镓厚膜；进行冷却，在热应力作用下应力屈服层裂开，形成自剥离的氮化镓厚膜。