发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR REMOVING FILM FROM PLANAR SUBSTRATE PERIPHERIES
摘要
申请公布号 EP1815516(B1) 申请公布日期 2013.02.27
申请号 EP20050825371 申请日期 2005.11.23
申请人 FIRST SOLAR, INC 发明人 HINKLE, JAMES, ERNEST
分类号 B24B1/00;B24C1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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