一种基于微机电系统的微透镜

摘要

本发明公开了一种基于微机电系统的微透镜，在MEMS微平台的最底端为基座，基座上安装有驱动器，驱动器支撑住镜架，镜架上安装有微透镜，通过驱动器带动镜架移动，进而带动微透镜的移动，实现透镜焦点的变化，所述驱动器由两个驱动臂组成，每个驱动臂由一个或一个以上的连接梁和将基座、连接梁、镜架依次连接起来的双压电晶片组成，其中双压电晶片由两种或者两种以上的金属层组成，每个双压电晶片加电压产生热温度升高，由于两种材料的热膨胀系数不同，从而导致双压电晶片产生弯曲，将连接梁抬高。该发明可以解决现有技术中透镜驱动装置结构比较大，消耗功率比较高，装置的装配工序繁多，不易于控制产品的合格率，从而造成了资源浪费的问题。

主权项

一种基于微机电系统的微透镜，在MEMS微平台的最底端为基座（3），基座（3）上安装有驱动装置，驱动装置支撑住镜架（2），镜架（2）上安装有微透镜（1），通过驱动装置带动镜架（2）移动，进而带动微透镜（1）的移动，实现透镜焦点的变化，其特征在于：所述驱动装置由两个驱动臂（4,5）组成，每个驱动臂由一个或一个以上的连接梁和将基座（3）、连接梁、镜架（2）依次连接起来的双压电晶片组成，其中双压电晶片由两种或者两种以上的金属层组成，每个双压电晶片加电压产生热温度升高，由于两种材料的热膨胀系数不同，从而导致双压电晶片产生弯曲，将连接梁抬高。